物理信息机器学习引导半导体异质结构按需生长

摘要

SemiEpi系统结合物理模型、原位传感与即时反馈，用于控制分子束外延过程，实现半导体异质结构的按需生长。该方法借助物理信息机器学习，提升晶体生长过程的控制精度，但具体实验细节与结果未在原文中详述。